특허보유현황
협대역 쇼트키 다이오드 광센서 및 이를 포함하는 협대역 쇼트키 다이오드 광센서 어레이
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220098755
출원일
2022-08-08
공개번호
1020240020554
공개일
2024-02-15
등록번호
1027157450000
등록일
2024-10-04
IPC 분류
H10F 77/40|H10F 30/227|H10F 77/20
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 협대역 쇼트키 다이오드 광센서는 제1 전극; 상기 제1 전극에 연결되는 반도체층; 상기 반도체층과 접촉하여 상기 반도체층 위에 형성되는 MDM 적층 부재; 그리고 상기 MDM 적층 부재에 연결되는 제2 전극을 포함하고, 상기 MDM 적층 부재는 적어도 하나 이상의 서브 MDM 적층 부재를 포함하고, 상기 서브 MDM 적층 부재는 차례로 적층된 하부 금속층, 유전체층, 그리고 상부 금속층을 포함하며, 상기 반도체층과 접촉하는 상기 하부 금속층은 쇼트키 접합 영역을 형성한다.
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