특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
레이저를 이용한 박리 장치 및 박리 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220105260
출원일
2022-08-23
공개번호
1020240027262
공개일
2024-03-04
등록번호
1029729120000
등록일
2026-05-29
IPC 분류
B23K 26/402|B23K 26/062|B23K 26/00|H10P 72/00|H10P 72/70
대표도면
요약
본 발명은 캐리어에 증착된 박막의 손상을 방지하면서 캐리어에 잔여물이 남지 않도록 박리할 수 있는 레이저를 이용한 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것으로, 레이저를 이용한 박리 방법은 캐리어의 표면에 그래핀층을 형성하는 그래핀 적층단계와, 상기 캐리어에 형성된 그래핀층에 타겟 소재를 증착하여 박막을 형성하는 소재 증착단계, 그리고 상기 캐리어에 레이저를 조사하는 레이저 조사단계를 포함한다. 이러한 방법으로, 박막이 증착되는 캐리어의 표면에 그래핀층을 형성하여 저출력의 레이저에도 용이하게 박막을 박리할 수 있고, 블리스터의 발생 면적을 넓게 하면서 높이를 낮게 하여 박막의 손상을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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