특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
나노섬유 얀의 제조 방법, 이를 이용한 나노섬유 얀 및 나노섬유를 이용한 전자소자
출원인
한국기계연구원|한국과학기술원
등록상태
등록
출원번호
1020220113346
출원일
2022-09-07
공개번호
1020240034401
공개일
2024-03-14
등록번호
1029709890000
등록일
2026-05-26
IPC 분류
D02G 3/12|D02G 3/26|D02G 3/44|G01N 33/00|A62B 18/02
대표도면
요약
본 발명은 나노섬유 얀의 제조 방법에 관한 것으로, 나노 패턴이 형성된 기판 상에 금속 및 금속산화물을 포함하는 물질이 증착되어 표면물질층이 형성되는 단계, 나노 패턴의 적어도 일부가 선택적으로 식각되는 단계, 기판 상에 형성된 나노 패턴에서 표면물질층이 분리되는 단계 및 분리된 표면물질층이 트위스팅되어 나노섬유 얀이 제조되는 단계를 포함하며 다른 실시 예로도 적용이 가능하다.
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