특허보유현황
필터 교체형 플라즈마 모니터링 시스템 및 이를 이용한 플라즈마 모니터링 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220145336
출원일
2022-11-03
공개번호
1020240063574
공개일
2024-05-10
등록번호
1027814110000
등록일
2025-03-10
IPC 분류
H01J 37/32|G01J 1/04|G01J 1/42|G01J 1/44
대표도면
요약
필터 교체형 플라즈마 모니터링 시스템 및 이를 이용한 플라즈마 모니터링 방법에서, 상기 플라즈마 모니터링 시스템은 필터 어레이, 광 검출부 및 장착모듈을 포함한다. 상기 필터 어레이는 플라즈마에서 방출되는 광으로부터 기 설정된 대역(band)의 신호를 투과시킨다. 상기 광 검출부는 상기 필터 어레이를 투과한 광을 검출한다. 상기 장착모듈은 상기 기 설정된 대역의 신호에 따라 선택되는 상기 필터 어레이가 장착된다.
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