특허보유현황
비접촉식 전계 발광을 이용한 자체발광 소자의 결함 검사 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220148559
출원일
2022-11-09
공개번호
1020240067493
공개일
2024-05-17
등록번호
1028116050000
등록일
2025-05-13
IPC 분류
G01R 31/265|G01R 31/26|H01F 17/04|H01F 17/06
대표도면
요약
본 발명은 비접촉식 전계 발광을 이용한 자체발광 소자의 결함 검사 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 비접촉식 전계 발광을 이용한 자체발광 소자의 결함 검사 장치는 기판에 실장된 자체발광 소자의 결함을 검사하는 장치에 있어서, 상기 자체발광 소자에서 전계 방출된 빛을 수광하여 결함을 감지하는 결함 감지부, 상기 자체발광 소자를 중앙에 두고 복수의 코일을 이격 배치시킨 코일부 및 상기 코일부에 전류를 인가하는 전원부를 포함하고, 상기 코일부에 전류가 인가될 때 상기 자체발광 소자의 p-n 접합 부위에 유도 전기장을 형성하여 상기 자체발광 소자에서 빛을 전계 방출시키는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.
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