특허보유현황
플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230030089
출원일
2023-03-07
공개번호
1020240136741
공개일
2024-09-19
등록번호
1029096810000
등록일
2026-01-05
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기는 플라즈마가 발생하는 공간으로 위치하여 플라즈마를 진단하고, 베이스 기판 및 전극유닛을 포함한다. 상기 전극유닛은 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 신호선부 및 접지라인을 포함한다. 상기 신호선부는 상기 플라즈마가 발생하는 공간에 노출되며 신호를 검출하는 송수신부, 및 상기 송수신부로부터 연장되어 외부로 검출 신호를 전달하는 신호라인을 포함한다. 상기 접지라인은 상기 신호선부와 이격되도록 상기 신호선부가 형성된 베이스 기판의 면(面)과 동일한 면(面)에 형성되며, 상기 신호선부의 연장 방향을 따라 연장된다.
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