특허보유현황
가시창 거치형 플라즈마 진단장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230033187
출원일
2023-03-14
공개번호
1020240139322
공개일
2024-09-23
등록번호
1028600070000
등록일
2025-09-10
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
가시창 거치형 플라즈마 진단장치는 가시창부 및 적어도 두 개의 신호모듈들을 포함한다. 상기 가시창부는 내부에 플라즈마가 발생하는 챔버의 외벽부에 위치하고, 상기 신호모듈들은 상기 가시창부를 통과하여 상기 플라즈마로 초고주파 신호를 송수신한다. 이 경우, 상기 신호모듈들 각각은, 상기 초고주파 신호가 전달되는 신호선부, 및 상기 신호선부의 끝단에서 상기 가시창부를 향하여 상기 초고주파 신호를 송수신하는 송수신부를 포함하는 신호 전달부, 및 상기 신호선부의 외부를 커버하는 유전체부를 포함한다.
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