특허보유현황
리소그래피 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230044573
출원일
2023-04-05
등록번호
1025907980000
등록일
2023-10-13
IPC 분류
G03F 7/20|G03F 9/00
대표도면
요약
본 발명은, 리소그래피 장치를 제공한다. 일 실시예에서, 리소그래피 장치는, 기판의 상부에 놓이는 헤드와; 헤드를 이동하는 이동 수단을 포함하는 리소그래피 장치에 있어서, 헤드는, 기판 상으로 광을 조사하는 측정 광원; 측정 광원의 광경로 상에 놓여 측정 광원으로부터 조사된 빛을 분리하는 제1빔스플리터; 제1빔스플리터로부터 전달된 빛을 기판으로 전달하여 제1광경로를 형성하는 제2빔스플리터; 제2빔스플리터의 광 경로 상에 놓이며 기판 상으로 집광하는 대물렌즈; 제1빔스플리터로부터 전달된 빛을 반사하여 제2광경로를 형성하는 미러; 제1광경로로부터 전달된 빛과 제2광경로로부터 전달된 빛의 간섭무늬를 영상 렌즈를 통해 수집하여 기판의 이미지 정보를 획득하는 영상 수집 장치를 포함할 수 있다.
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