특허보유현황
마이크로 소자 전사장치 및 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230047546
출원일
2023-04-11
공개번호
1020240151486
공개일
2024-10-18
등록번호
1028038600000
등록일
2025-04-29
IPC 분류
H10W 29/00|B23K 26/06|H10P 72/70
대표도면
요약
본 발명은 극초단 펄스 레이저를 이용하여 빠르고 정밀하게 손상을 최소화할 수 있는 마이크로 소자 전사장치 및 전사방법에 관한 것으로, 마이크로 소자 전사장치는 펨토초 펄스 레이저(femtosecond pulse laser)를 조사하는 레이저 조사부와, 마이크로 소자가 점착되고, 극초단 펄스 레이저가 조사되면 마이크로 소자를 이탈시키는 캐리어를 포함하여 이루어진다. 이러한 구성으로, 극초단 펄스 레이저를 이용하여 고종횡비의 블리스터를 형성하여 전사 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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