특허보유현황
마이크로 소자 전사장치 및 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230092277
출원일
2023-07-17
공개번호
1020250012269
공개일
2025-01-24
등록번호
1028810490000
등록일
2025-10-30
IPC 분류
H10P 72/00|H10W 72/00|H10P 72/30|H10P 72/50|H10P 72/76
대표도면
요약
본 발명은 캐리어와 타겟기판이 배치되는 스테이지를 보다 정밀하게 정렬하여 마이크로 소자를 전사할 수 있는 마이크로 소자 전사장치 및 전사방법에 관한 것으로, 상기 마이크로 소자 전사방법은 캐리어 스테이지와 타깃 스테이지 중 어느 하나의 위치를 조절하는 컨트롤 스테이지를 동작시켜 정렬하는 스테이지 세팅단계와, 캐리어와 타깃기판을 배치하는 기판 배치단계와, 상기 컨트롤 스테이지를 조절하여 상기 마이크로 소자가 상기 타깃기판에 전사될 위치를 조절하는 전사위치 세팅단계와, 상기 캐리어 스테이지와 상기 타깃 스테이지의 간격을 조절하는 전사간격 조절단계, 그리고 상기 캐리어에 부착된 마이크로 소자에 전사 레이저를 조사하여 마이크로 소자를 타깃기판에 전사하는 전사단계를 포함한다. 이러한 구성으로, 캐리어와 타겟기판이 배치되는 스테이지를 보다 정밀하게 정렬하여 마이크로 소자를 보다 정확하게 전사할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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