특허보유현황
플라즈마 측정용 프로브 유닛 및 이를 포함하는 플라즈마 측정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230131769
출원일
2023-10-04
공개번호
1020250048996
공개일
2025-04-11
등록번호
1028708190000
등록일
2025-10-02
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
플라즈마 측정용 프로브 유닛 및 이를 포함하는 플라즈마 측정장치에서, 상기 프로브 유닛은 플라즈마를 향하여 위치하여 플라즈마를 측정한다. 상기 프로브 유닛은 일 방향으로 연장되며, 상기 플라즈마로 초고주파 신호를 제공하고, 상기 플라즈마를 통과한 초고주파 신호를 수신하는 신호선부, 상기 신호선부의 외면을 따라 형성되는 유전체부, 및 상기 신호선부 및 상기 유전체부와 상기 플라즈마의 사이에 형성되는 빈 공간인 공간부를 포함한다.
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