특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
전극 삽입형 배관 내면 처리장치 및 이를 이용한 배관 내면 처리방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230135423
출원일
2023-10-11
공개번호
1020250052184
공개일
2025-04-18
등록번호
1029338890000
등록일
2026-02-26
IPC 분류
H01J 37/32|C23C 16/44
대표도면
요약
전극 삽입형 배관 내면 처리장치 및 이를 이용한 배관 내면 처리방법에서, 상기 배관 내면 처리장치는 배관부, 전극부, 전원 공급부 및 보호부를 포함한다. 상기 배관부는 챔버부에 위치하며, 내부로 가스가 공급된다. 상기 전극부는 상기 배관부 내부의 중앙을 따라 연장된다. 상기 전원 공급부는 상기 배관부와 상기 전극부의 사이에서 전원을 제공하여, 상기 배관부의 내면부와 상기 전극부 사이에 플라즈마를 유도한다. 상기 보호부는 상기 전극부의 외부에 형성된다.
전문보기
기술이전 상담신청