특허보유현황
경사 배치된 대역 투과필터를 포함하는 광센서 모듈 및 이를 포함하는 공정 모니터링 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230139355
출원일
2023-10-18
등록번호
1027975550000
등록일
2025-04-14
IPC 분류
G01J 1/04|G01J 1/42|G02B 5/20
대표도면
요약
경사 배치된 대역 투과필터를 포함하는 광센서 모듈 및 이를 포함하는 공정 모니터링 시스템에서, 상기 광센서 모듈은 광 검출부, 투과 필터부 및 필터 홀더부를 포함한다. 상기 광 검출부는 서로 이격되도록 배치되는 적어도 2개 이상의 광 검출기들을 포함한다. 상기 투과 필터부는 상기 광 검출부의 상부에 배치되며, 적어도 2개 이상의 투과필터들을 포함한다. 상기 필터 홀더부는 상기 광 검출부의 상부에 위치하며, 상기 투과 필터부가 실장된다. 이 경우, 상기 투과필터들 각각은, 상기 광 검출기들 각각의 상부에 서로 이격되도록 배치되고, 입사되는 광에 대하여 서로 다른 경사각으로 배치된다.
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