특허보유현황
고배율 광학계를 이용한 선택적 마이크로 LED 박리 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230148568
출원일
2023-10-31
공개번호
1020250063000
공개일
2025-05-08
등록번호
1028661000000
등록일
2025-09-24
IPC 분류
B23K 26/53|B23K 26/06|B23K 26/08|B23K 26/082|H10W 29/00
대표도면
요약
본 발명은 다수의 마이크로 LED에 저출력 레이저빔을 조사하면서 다수의 마이크로 LED가 부착된 기판을 실시간으로 촬영한 저배율 기판 이미지를 생성하고, x축 및 y축을 따라 저출력 레이저빔을 다수의 마이크로 LED에 조사하며, 고출력 레이저빔을 기판에 조사하여 기판에 고출력 레이저빔 스팟을 형성시키고, 고출력 레이저빔을 이용하여 기판으로부터 다수의 마이크로 LED를 박리하는 저배율 박리장치, 고출력 레이저빔 스팟이 형성된 기판을 실시간으로 촬영한 고배율 기판 이미지를 생성하고, 고배율 기판 이미지에 표시되는 고출력 레이저빔 스팟과 고배율 기판 이미지의 중심이 일치하도록 x축 및 y축을 따라 이동하는 고배율 광학계 및 저배율 박리장치의 하부에 위치하여 기판을 지지하고, 다수의 마이크로 LED가 부착된 기판을 x축 및 z축으로 이동 및 틸팅시키는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고배율 광학계를 이용한 선택적 마이크로 LED 박리 장치를 제공한다.
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