특허보유현황
기판의 패턴 정렬 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230148569
출원일
2023-10-31
공개번호
1020250063001
공개일
2025-05-08
등록번호
1028240680000
등록일
2025-06-18
IPC 분류
H10W 29/00|H10H 29/20|H10H 20/857
대표도면
요약
본 발명은 지지부, 지지부의 상부에 위치하는 스테이지부, 스테이지부의 상부에 결합되는 진공부, 진공부의 상부에 결합되어 하부 기판을 지지하고 하부 기판을 가열하는 가열부, 상부 기판이 부착되고 지지부와 연결되어 상방 및 하방으로 이동함에 따라 상부 기판과 가열부에 의해 가열된 하부 기판을 가압하여 접착시키는 가압부, 지지부의 상부에 결합되어 가압부로부터 가해지는 힘을 측정하는 센서부 및 상부 기판의 상부에 위치하여 상부 기판 및 하부 기판을 관찰한 기판 이미지를 생성하는 광학부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 패턴 정렬 장치를 제공한다.
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