특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
기판 사이의 간극 조절 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230148570
출원일
2023-10-31
공개번호
1020250063002
공개일
2025-05-08
등록번호
1029508520000
등록일
2026-04-06
IPC 분류
H01J 37/32|H10P 72/76
대표도면
요약
본 발명은 베이스부, 베이스의 상면에 결합되는 스테이지부, 스테이지부의 상면에 결합되어 하부 기판을 지지하는 하부 기판홀더 및 하면에 부착되는 상부 기판이 하부 기판과 대향하도록 하부 기판홀더의 상부에 위치하는 상부 기판홀더를 포함하는 홀더부, 베이스부의 상부에 결합되어 상부 기판홀더를 고정 및 해제시키는 복수의 밀착부, 상부 기판홀더를 기준으로 복수의 밀착부와 대향하도록 베이스부에 삽입되어 상부 기판홀더를 고정 및 해제시키는 복수의 미세조정부 및 상부 기판홀더의 상부에 위치하여 하부 기판 및 상부 기판에 대한 하부 기판 이미지 및 상부 기판 이미지를 생성하고, 상하 방향으로 이동 가능한 광학부를 포함하여, 하부 기판과 상부 기판의 전체 면에 대하여 하부 기판과 상부 기판 사이의 간극이 일정해지는 것을 특징으로 하는 기판 사이의 간극 조절 장치를 제공한다.
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