특허보유현황
레이저 클리닝 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230162445
출원일
2023-11-21
등록번호
1026979790000
등록일
2024-08-19
IPC 분류
B23K 26/36|B23K 26/082|B23K 26/06
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예의 레이저 클리닝 장치는, 클리닝 대상물을 지지하는 스테이지; 레이저 빔을 방출하는 레이저 유닛; 상기 레이저 빔의 진행 경로에 배치되어 입사되는 레이저 빔을 이동시키면서 상기 대상물에 조사하는 스캐닝 유닛; 및 상기 대상물에서 방출되는 플라즈마를 검출하되, 상기 레이저 빔이 상기 대상물에 조사되는 시간과 상기 플라즈마가 검출되는 시간이 동기화되는 모니터링 유닛;을 포함한다.
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