특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
미세 구조물 접촉을 이용한 변위 센서
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230163333
출원일
2023-11-22
공개번호
1020250076755
공개일
2025-05-30
등록번호
1029429260000
등록일
2026-03-19
IPC 분류
G01B 7/04|G01B 7/16|G01B 7/00
대표도면
요약
본 발명은 미세 구조물 접촉을 이용한 변위 센서에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 미세 구조물 접촉을 이용한 변위 센서는 일면에 다수 개의 제1 미세 구조체가 일정간격으로 배열된 제1 기판; 상기 제1 기판의 일면과 마주하는 면에 상기 제1 미세 구조체와 맞물리는 형태로 배치되는 다수 개의 제2 미세 구조체가 일정간격으로 배열된 제2 기판; 및 상기 제1 기판과 제2 기판 중 적어도 어느 하나의 횡방향 이동에 대하여 상기 제1 미세 구조체와 제2 미세 구조체의 접촉 면적 변화를 감지할 수 있는 측정부를 포함하고, 상기 제1 미세 구조체와 제2 미세 구조체 중 적어도 어느 하나는 탄성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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