특허보유현황
강성 가변형 스탬프 및 이를 이용한 전사 방법
출원인
재단법인 파동에너지 극한제어 연구단|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230171134
출원일
2023-11-30
공개번호
1020250082621
공개일
2025-06-09
등록번호
1028806620000
등록일
2025-10-30
IPC 분류
H05K 3/34|H05K 3/12
대표도면
요약
본 발명은 곡면 형상의 넓은 전사 영역에 효과적인 전사가 가능하며, 전사되는 소재에 가해지는 기계적 하중을 줄여 전사의 신뢰성을 높일 수 있는 강성 가변형 스탬프 및 이를 이용한 전사 방법을 제공한다. 상기 강성 가변형 스탬프는 유연커버 및 압력조절부를 포함한다. 유연커버는 유체가 수용되는 수용공간을 가지고, 수용공간의 압력에 따라 변형된다. 압력조절부는 수용공간의 압력을 조절한다. 이에 따라, 유연커버에 부착된 소재를 타겟기판으로 전사할 시, 수용공간의 압력 변화에 의해 강성이 변화되면서 유연커버와 타겟기판 사이의 접촉 면적이 가변된다.
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