특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
다단구조체 제조 방법 및 그 제조 방법에 의해 제조된 다단구조체
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020230172133
출원일
2023-12-01
공개번호
1020250083675
공개일
2025-06-10
등록번호
1029314410000
등록일
2026-02-23
IPC 분류
G03F 7/00|G03H 1/02
대표도면
요약
본 발명은 다단구조체 제조 방법과, 그 제조 방법에 사용되는 마스크 및 스탬프와, 그 제조 방법에 의해 제조된 다단구조체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 둘 이상의 다른 높이 또는 깊이를 갖는 나노-마이크로 스케일의 다단구조체를 나노임프린트 방법을 이용하여 제조하는 방법과, 그 제조 방법에 사용되는, 둘 이상의 상이한 크기의 개구들을 가지는 마스크와, 그 제조 방법에 사용되는, 둘 이상의 상이한 깊이의 오목부들을 가지는 스탬프와, 그 제조 방법에 의해 제조된, 둘 이상의 상이한 높이의 볼록부들을 가지는 다단구조체에 관한 것이다.
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