특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
통합 모듈형 분광 시스템 및 이를 이용한 공정 진단방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240039081
출원일
2024-03-21
공개번호
1020250143006
공개일
2025-09-30
등록번호
1030114210000
등록일
2026-08-25
IPC 분류
G01J 3/02|G01J 3/18|G01N 21/84|G01J 3/28
대표도면
요약
통합 모듈형 분광 시스템 및 이를 이용한 공정 진단방법에서, 상기 분광 시스템은 분광모듈, 검출유닛 및 진단유닛을 포함한다. 상기 분광모듈은 플라즈마 공정에서 방출되는 광신호를 수신한다. 상기 검출유닛은 상기 분광모듈에서 수신된 광신호를 바탕으로, 주파수 대역에 따른 광신호를 검출한다. 상기 진단유닛은 상기 검출된 광신호를 바탕으로, 상기 플라즈마 공정의 상태를 판단하거나 상기 분광모듈의 교정 시기를 판단한다. 이 경우, 상기 분광모듈은, 제1 파장 대역의 광신호를 회절 분광하여 수신하는 회절 분광계, 및 제2 파장 대역의 광신호를 투과 분광하여 수신하는 투과 분광계를 포함한다.
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