특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
플라즈마 생성용 안테나 모듈 및 이를 포함하는 플라즈마 생성장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240042362
출원일
2024-03-28
공개번호
1020250145225
공개일
2025-10-13
등록번호
1029415400000
등록일
2026-03-16
IPC 분류
H01J 37/32
대표도면
요약
플라즈마 생성용 안테나 모듈 및 이를 포함하는 플라즈마 생성장치에서, 상기 안테나 모듈은 전원부로부터 전원을 제공받아 플라즈마 챔버의 내부로 플라즈마를 유도한다. 상기 안테나 모듈은, 내측 안테나, 상기 내측 안테나의 외측에 위치하는 외측 안테나, 상기 내측 안테나 또는 상기 외측 안테나의 위치를 가변시키는 구동유닛, 및 상기 내측 안테나와 상기 외측 안테나의 사이에 연결되며, 상기 내측 안테나 또는 상기 외측 안테나의 위치가 가변됨에 따라 길이가 가변되는 유연 연결부를 포함한다.
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