특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
파면 측정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240099654
출원일
2024-07-26
공개번호
1020260016311
공개일
2026-02-03
등록번호
1030232310000
등록일
2026-09-17
IPC 분류
G01J 9/00|G01J 3/02|G01J 3/04|G01J 3/28|G01J 9/02|G01J 3/42
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예는 레이저 빔을 출력하는 레이저 광원, 입사되는 상기 레이저 빔을 제1 빔과 제2 빔으로 분할하는 광분할부재, 상기 제1 빔의 경로 상에 배치되어, 상기 제1 빔을 반사하여 기준빔을 출사하는 제1 광학부재, 상기 제2 빔의 경로 상에 배치되어, 상기 제2 빔을 반사하여 측정빔을 출사하는 제2 광학부재, 상기 기준빔과 상기 측정빔의 경로 상에 배치되어, 상기 기준빔과 상기 측정빔에 의해 형성되는 결합빔을 측정하는 측정부 및 상기 결합빔으로부터 상기 레이저 빔의 시공간 형상을 산출하는 제어부를 포함하는 파면 측정 장치를 제공한다.
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