특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
레이저 빔 결합 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240107889
출원일
2024-08-12
공개번호
1020260023925
공개일
2026-02-20
등록번호
1029672560000
등록일
2026-05-15
IPC 분류
H01S 3/137|H01S 3/105|H01S 3/00|H01S 3/23|G02B 27/10|G02B 27/30|H01S 3/13
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예는 서로 다른 파장을 가지는 복수의 레이저 빔을 결합하는 빔 결합부, 상기 빔 결합부에서 출력되는 결합빔을 이용하여 형성되는 간섭 무늬를 획득하는 검출부 및 상기 검출부가 획득한 상기 간섭 무늬를 이용하여 상기 복수의 레이저 빔의 결합 상태를 판단하는 제어부를 포함하고, 상기 검출부는, 상기 빔 결합부로부터 입사되는 결합빔을 제1 분할빔과 제2 분할빔으로 분할하는 빔 분할부재, 상기 제1 분할빔의 경로 상에 배치되며, 입사되는 상기 제1 분할빔을 반사하여 제1 기준빔으로 출사하는 제1 반사부재, 상기 제2 분할빔의 경로 상에 배치되며, 상기 제2 분할빔을 반사하여 제2 기준빔으로 출사하는 제2 반사부재 및 상기 제1 기준빔과 상기 제2 기준빔의 경로 상에 배치되어, 상기 제1 기준빔과 상기 제2 기준빔에 의해 형성되는 간섭 무늬를 측정하는 제1 측정부를 포함하는 레이저 빔 결합 장치를 제공한다.
전문보기
기술이전 상담신청