특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
다단 나노패턴을 포함하는 메타 구조체 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240110626
출원일
2024-08-19
등록번호
1029102420000
등록일
2026-01-06
IPC 분류
H10K 59/80|H10K 71/00|H10K 59/122
대표도면
요약
다단 나노패턴을 포함하는 메타 구조체 및 이의 제조방법에서, 상기 메타 구조체는 기판, 제1 나노패턴 및 제2 나노패턴을 포함한다. 상기 기판은 제1 영역 및 제2 영역으로 구획된다. 상기 제1 나노패턴은 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 전체에서, 상기 기판의 상면에 제1 높이에서, 소정의 간격으로 이격되며 형성된다. 상기 제2 나노패턴은 상기 제2 영역에서, 상기 기판의 상면에 상기 제1 높이보다 높은 제2 높이에서, 소정의 간격으로 이격되며 형성된다. 이 경우, 상기 제1 영역은 제1 간격으로 서로 이격된다.
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