특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240140707
출원일
2024-10-15
공개번호
1020260054525
공개일
2026-04-22
등록번호
1030214900000
등록일
2026-09-14
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법에서, 상기 임프린트 장치는 외형유닛, 스탬프 모듈, 기판유닛, 스탬프 유닛 및 가압유닛을 포함한다. 상기 외형유닛은 내부공간을 형성한다. 상기 스탬프 모듈은 스탬프 및 상기 스탬프를 고정하는 스탬프 홀더를 포함한다. 상기 기판유닛은 제1 챔버에 기판모듈을 수납한 후, 상기 내부공간으로 인입된다. 상기 스탬프 유닛은 제2 챔버에 상기 스탬프 모듈을 수납한 후, 상기 내부공간으로 인입된다. 상기 가압유닛은 상기 스탬프와 상기 기판모듈을 인접하도록 위치시키며, 상기 제1 및 제2 챔버들을 밀폐한다.
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