특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
플라즈마 진단용 진단모듈 및 이를 포함하는 진단 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020240177064
출원일
2024-12-03
공개번호
1020260086147
공개일
2026-06-10
등록번호
1029866670000
등록일
2026-07-01
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
플라즈마 진단용 진단모듈 및 이를 포함하는 진단 시스템에서, 상기 진단모듈은 베이스 부, 개구부 및 신호선 부를 포함한다. 상기 베이스 부는 플라즈마가 발생하는 공간에 위치하며, 소정의 면적으로 형성된다. 상기 개구부는 상기 베이스 부를 관통하도록 형성된다. 상기 신호선 부는 상기 개구부에 인접하며, 상기 베이스 부의 제1 및 제2 외면들에 각각 형성되는 제1 및 제2 신호선들을 포함하고, 상기 플라즈마를 통과하는 초고주파 신호를 송수신한다.
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