특허보유현황
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반도체 검사용 프로브 자가 조립 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020250070279
출원일
2025-05-29
등록번호
1030190640000
등록일
2026-09-09
IPC 분류
G01R 3/00|G01R 1/067|G01R 1/073|G01R 1/04
대표도면
요약
본 발명은 반도체 검사용 프로브 자가 조립 장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 반도체 검사용 프로브 자가 조립 장치는 유동 공간을 형성하는 챔버, 상기 챔버 내 유동 경로 상 일측에 고정되고, 프로브가 삽입되는 복수의 홀이 형성된 프로브 가이드 및 상기 챔버 내에서 상기 프로브가 혼합된 액체의 유동을 발생시키는 유동 공급부를 포함하고, 상기 유동 공급부에 의해 상기 프로브 가이드를 향하여 상기 프로브가 혼합된 액체의 유동을 형성하여, 상기 홀을 통해 액체가 유동하는 동안 상기 프로브가 상기 홀에 삽입되어 자가 조립되는 것을 특징으로 한다.
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