| 사용자 매뉴얼 |
공정 플라즈마 설계 사용자 매뉴얼(21.11.09).pdf
|
1. 프로그램 소개
Input Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | 필수여부 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 방전 압력 | double | Torr | 필수 |
| 2 | 방전 전력 | double | W | 필수 |
| 3 | 방전 가스종 | double | - | 필수 |
| 4 | 플라즈마 방전 폭 | double | mm | 필수 |
| 5 | 플라즈마 해상도 | double | - | 필수 |
| 총 14개 입력변수 | ||||
Output Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | row | column |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | PD dimension x | double | mm | n | 1 |
| 2 | PD dimension y | double | mm | m | 1 |
| 3 | PD | double | mm | m | n |
| 4 | PD x | double | mm | 1 | |
| 5 | PD x Uniformity | double | - | 1 | 1 |
| 총 7개 출력파일 | |||||
2. 프로그램 입력화면
전력 & 압력
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W
Torr
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파장정보
계산조건
방전가스
3. 프로그램 결과화면
< 플라즈마 분포 >
|
< 플라즈마 분포 Y >
|
< 플라즈마 분포 X >
|
< 플라즈마 활성종 스펙트럼 >
|
Non-uniformity = 0.0000000e+00 |
플라즈마 공정 반응기 진단 특성을 바탕으로 방전된 플라즈마의 성능(분포 및 활성종 생성) 예측 프로그램.
A prediction program for processing plasma performance of distribution and optical emission species based on the plasma diagnostic results.