| 사용자 매뉴얼 |
플라즈마공정 광스펙트럼 및 공정변수 예측 사용자 매뉴얼(21.11.09).pdf
|
1. 프로그램 소개
Input Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | 필수여부 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 산소 유량 | double | sccm | 필수 |
| 2 | 방전 압력 | double | Torr | 필수 |
| 3 | 방전 전력 | double | Watt | 필수 |
| 4 | 산소 유량 변경값 | double | sccm | 필수 |
| 5 | 방전 압력 변경값 | double | Torr | 필수 |
| 총 9개 입력변수 | ||||
Output Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | row | column |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | OES output 1 | double | mm | n | 1 |
| 2 | OES output 2 | double | mm | m | 1 |
| 3 | OES output 3 | double | mm | m | n |
| 4 | OES output 4 | double | mm | 1 | |
| 5 | Deposition X | double | - | 1 | 1 |
| 총 5개 출력파일 | |||||
2. 프로그램 입력화면
I. Gas/Flow rate
| 460 sccm | |
| 300 sccm | |
IV. OES spectrum
II. RF power
V. Deposition profile
III. Pressure
3. 프로그램 결과화면
< 플라즈마 스펙트럼 >
|
< SiO2 Deposition 분포 >
|
< 가스 영향 >
|
< 압력 영향 >
|
< 전력 영향 >
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플라즈마 공정 반응기의 광계측 진단 특성을 바탕으로 플라즈마 광스펙트럼 특성 및 공정 예측 프로그램.
A prediction program for optical emission spectrum of plasma processing based on the plasma diagnostic results.