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제목 나노공정 기술관련하여

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상태 답변
작성자
작성일 2005-11-08
조회 2873
내용 반갑습니다.

LG마이크론에 LCD용 Photo Mask 제작을 담당하는 조지태라고 합니다.

저희 공정중 초미세 PTN 수정공정에 나노공정 기술을 접목시키면 어떨까라는

생각이 들어 좀더 구체적인 자료가 좀 있었으면 합니다.

현재 장비화 시킬수 있는 사이즈(대응가능사이즈)가 얼마나 되는지..

재현성 내지는 정밀도.. 및 ,Accuracy가 얼마나 나오는지...등등..

최근에 이슈가 되어지고 있는 FIB기술과 비교할때 어떤 차이점이 있는지?

장단점..이 무엇인지..등등 입니다.

가능하시다면....통화를 한번 하던지....연락을 부탁드립니다.

054-712-1040
011-9571-6339
LG마이크론 PM사업부 조지태K
jtcho@lgmicron.com
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