초정밀 미세 가공기술, 나노 · 마이크로 성형기술, 나노임프린트 공정 및 장비기술과 정밀 광학 시스템 응용 미세 패터닝기술을 기반으로 광학부품, 고감도 질병/병원균 진단 소자 등 미래지향적 고부가가치 제품 생산 공정기술을 연구하고 있습니다.

조직도

연구분야

• 초미세 구조 가공 및 장비 기술
• 나노기반 임프린팅⋅성형 공정 및 제품화 기술
• 광기반 정밀 패터닝 공정 및 시스템 기술

연구성과

• 대면적 고세장비 미세패턴 롤 가공 기술 개발
• 나노·마이크로 사출성형/패키징 기술 및 바이오소자 양산형 플랫폼 기술 개발
• UV/Thermal 기반 나노임프린트 장비기술 개발
• 대면적 나노임프린트 공정기술 및 광학필름 제작 기술 개발
• 롤 나노 임프린트 공정장비 기술 및 디스플레이, 에너지 소자 적용 기술 개발
• 광기반 미세 패터닝 기술 및 유연전자소자 응용 기술 개발

대표성과

Step-and-repeat 나노임프린트 시스템 및 공정 기술

나노패턴이 형성된 스탬프를 정밀하게 이동시키며 자외선 경화 또는 열 경화 방식의 나노임프린트 공정을 반복적으로 수행함으로써 대면적 기판에 나노패턴을 형성하는 기술로, 디스플레이, 태양전지 등 유연 광학 및 전자 소자 분야에 활용됩니다.