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자율제조연구소

자율제조연구소

디지털 자율제조를 실현하는 첨단 제조장비와 공정기술을 개발합니다.

제조업의 혁신과 자율제조를 견인하기 위한 제조장비와 공정기술을 연구합니다. 반도체·디스플레이 장비, 초정밀 제조장비, 광응용 장비, 적층 기반 융복합 제조장비 등 첨단 제조장비·공정의 원천기술을 기반으로 디지털 트윈과 인공지능, 감시·진단, 무인자율화 기술을 접목시켜 제조 효율성과 유연성을 획기적으로 향상시키고자 합니다.

자율제조연구소 - 반도체장비 연구센터(소개,연구분야,대표성과), 초정밀장비 연구실(소개,연구분야,대표성과), 광응용장비연구실(소개,연구분야,대표성과)로 구분되어있습니다.
반도체장비
연구센터
소개 반도체 초격차 제조기술로 우리산업의 미래를 선도합니다.반도체 산업의 자율제조를 실현하는 초미세화 팹 공정과 첨단 패키징 공정 및 장비 기술을 개발합니다.
연구분야
  • 첨단 반도체 패키징 공정 및 장비 기술
  • 반도체 초미세화 팹 공정 및 장비 기술
  • 반도체 자율제조 핵심기술
  • 플라즈마 소스 및 화학/환경/에너지 응용 기술
대표성과 고집적 웨이퍼레벨 3차원 반도체 스택 및 초박형 웨이퍼 핸들링 공정 장비기술 반도체 패키지의 고집적화, 경박단소화를 위해 칩을 대면적 웨이퍼 레벨에서 높은 정밀도로 3차원으로 적층 조립하고 초박형 웨이퍼를 파손없이 임시 접합 및 디본딩하는 기술입니다. 이를 통해 300mm 웨이퍼 기판 위에 ±2㎛ 정밀도로 칩을 열압착 본딩하고 50㎛ 두께 초박형 웨이퍼 또는 칩의 파손없는 핸들링을 실현하였으며, 개발기술은 장비기업과의 협력과 기술이전을 통해 국내 최초로 HBM 메모리 패키지 조립 양산에 도입되었습니다.
초정밀장비
연구실
소개 초정밀 제조장비의 설계, 제어, 진단, 보정, 자율화 핵심기술을 연구합니다.초정밀, 초미세 제품 제조를 위한 첨단 제조장비의 정밀도·성능 향상 기술(설계, 해석, 제어, 평가, 보정, 진단)과 디지털 트윈, 인지, 적응 제어 등 자율제조 지향 지능화 기술을 개발합니다.
연구분야
  • 초정밀 가공장비 및 공정 기술
  • 정밀 제조장비 설계/해석/제어/측정/진단 기술
  • 정밀 제조시스템 디지털 트윈 및 무인자율화 기술
대표성과 구조/제어/공정 디지털 트윈 기반 가공장비 가상검증 기술 가공장비의 구조, 제어, 공정에 대한 물리적 모델을 통합한 디지털 트윈을 생성하는 기술로, 실제 장비의 거동을 가상에서 평가하는 것이 가능합니다. 국내 메이저 공작기계 제조사에 기술이전하여 장비개발 과정에 활용 중에 있습니다.
광응용장비
연구실
소개 첨단 산업의 자율제조를 위한 광응용장비 관련 기술을 개발합니다.고에너지 빔 기술을 포함해 전통 절삭기술과 융합한 광응용 가공 기술을 개발합니다. 광기반 측정 · 진단 기술이 융합된 공정 모니터링 기술을 바탕으로 작업자의 개입을 최소화할 수 있는 가공시스템 기술을 개발합니다.
연구분야
  • 레이저 광학 모듈 및 장비 기술
  • 산업용 레이저 광원 기술
  • 레이저/전자빔 공정 및 시스템 기술
  • AI 기반 공정 예측, 측정, 진단 및 제어 기술
대표성과 워터가이드 레이저 융합가공장비 50mm 이상 형성된 직경 50~100μm의 물줄기를 따라 나노초 펄스 레이저 빔을 이송시켜 가공하는 장비로, 가공하기 까다로운 SiC부터 Si반도체까지 다양한 재료를 원하는 형상으로 가공할 수 있는 장비입니다. 인공지능을 활용한 3차원 레이저 초점 위치 유지 기능을 탑재하여 작업자의 유지보수 없이 장시간 안정적인 장비 운용이 가능하다는 장점을 가지고 있습니다.
3D프린팅장비
연구실
소개 적층 기반 융복합 자율제조를 위한 최적화 설계, 장비 및 공정 핵심기술을 개발합니다. 부품 성능향상을 위한 적층 최적화 설계기술, 고품질 적층을 위한 장비 핵심모듈, 자율 적층제조가 가능한 장비 및 공정 지능화 기술을 개발합니다.
연구분야
  • 적층장비 핵심모듈
  • 적층공정 지능화 및 자율 적층제조시스템 기술
  • 적층 최적화 설계(DfAM) 및 평가 기술
  • 적층 기반 융복합 제조 기술
대표성과 대형부품 성능극대화 제작 및 보수를 위한 지능형 금속 3D프린팅 시스템 및 공정기술 공정 편의성, 생산성, 적층품질 향상을 위해 고속적층모듈-공정제어-CAM이 실시간 연동 및 통합된 대형 DED (Directed Energy Deposition) 시스템 및 공정기술을 개발하였습니다. 이를 통해 자동차부품 금형 수명 7배 향상, 손상 국방부품의 성능강화 보수품 실전 적용, 차세대 발사체 엔진용 부품을 제작하였습니다.

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