환경/에너지/화학플랜트/반도체-디스플레이 분야 플라즈마 공정과 장비의 기계기술을 개발하고 있습니다. 대기압/저압 상태에서 운전되는 다양한 종류의 플라즈마 반응기를 통한 대기 환경오염 물질 제거, 온실가스 저감, 석유화학 공정 혁신, 반도체-디스플레이 플라즈마 장비 및 환경설비 분야에서 공정/장비 개발에 매진하고 있습니다.

조직도

연구분야

• 플라즈마를 이용한 에너지 변환/저장/자원화 기술
• 미세먼지, 악취, 오염물질 제거 환경기술
• 화학물질 전환 및 공정 기술
• 반도체-디스플레이분야 제조 및 환경설비용 플라즈마 공정/장비기술

연구성과

• PFCs 처리용 상압플라즈마 스크러버 개발
• 반도체-디스플레이 오염물질 처리용 진공 플라즈마 장비 개발
• SCR/DPF thermal management 기술 개발
• 화학공정/플랜트 촉매 재생 기술 개발
• 폐가스/폐유 올레핀 전환 자원화 기술 개발

대표성과

반도체 친환경 공정을 위한 진공 플라즈마 기술 개발

진공펌프 전단에 플라즈마를 발생시켜 반도체 공정에서 배출되는 환경오염 물질을 안정화 처리하는 신개념 기술로, 친환경공정, 안전사고 예방 및 진공펌프 수명연장을 동시에 이룰 수 있습니다. 이 기술은 국내 중소기업에 기술이전 된 후 제품화되어 대기업 반도체라인에 300여 대 이상 설치/운전 중입니다.