| 반도체장비연구센터 |
조성권 |
- 플라즈마 발생 장치 개발
- 플라즈마 화학 반응 연구 및 응용
- 플라즈마 후처리 기술 개발
- 플라즈마 응용 연료 개질 및 변환 기술 개발
- 플라즈마 응용 기술 개발 |
042-868-7485 |
| 반도체장비연구센터 |
허민 |
- 플라즈마 반응기 설계/해석/진단
- 반도체/디스플레이 플라즈마 응용
- 환경/에너지 플라즈마 응용 |
042-868-7634 |
| 반도체장비연구센터 |
강홍재 |
- 플라즈마 반응 시스템 개발 |
042-868-7174 |
| 반도체장비연구센터 |
김대웅 |
- 반도체-디스플레이 제조공정용 저압/저온 플라즈마 진단
- 저압/저온 플라즈마 진단기 개발 및 분석
- 저압/저온 플라즈마 소스 개발 및 분석 |
042-868-7922 |
| 반도체장비연구센터 |
김무영 |
- 계산과학 기반 반도체 가상공정 플랫폼 구축
- 2차원 반도체 소재 플라즈마 식각/증착
- 제일원리-분자동역학-키네틱몬테카를로-연속체 멀티스케일 시뮬레이션 |
042-868-7399 |
| 반도체장비연구센터 |
김유나 |
|
042-868-7198 |
| 반도체장비연구센터 |
김태호 |
|
042-868-7989 |
| 반도체장비연구센터 |
김형우 |
- 플라즈마 기반 반도체 물질 합성/식각 및 공정진단
- 플라즈마 기반 2차원 차세대 반도체 공정 및 소자응용
- 머신러닝 기반 플라즈마 공정 진단 |
042-868-7272 |
| 반도체장비연구센터 |
문현규 |
- 반도체 패키징 공정 및 장비 기술 개발
- 방열 설계
- CMP |
042-868-7133 |
| 반도체장비연구센터 |
박아영 |
- 전자패키징, 반도체, 유연소자 공정 및 장비 개발
- 구조역학, 열역학, 파괴역학 기반 유한요소 해석 및 평가 |
042-868-7122 |
| 반도체장비연구센터 |
송호현 |
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042-868-7195 |
| 반도체장비연구센터 |
오승진 |
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042-868-7116 |
| 반도체장비연구센터 |
이희수 |
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042-868-7027 |
| 반도체장비연구센터 |
최정안 |
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042-868-7193 |
| 반도체장비연구센터 |
한성흠 |
- 정밀 길이/3차원 좌표 측정 기술 개발
- 마이크로 LED 전사 공정 및 장비 개발
- 반도체/디스플레이 레이저 공정 및 장비 개발
- 펨토초 레이저 응용 기술 개발
- 광학 시스템 개발 |
042-868-7429 |
