| 반도체장비연구센터 |
강우석 |
- 반도체장비연구센터장 |
042-868-7435 |
| 반도체장비연구센터 |
김승만 |
- 광기반 정밀 측정
- 광기반 반도체/유연소자 패키징 공정 |
042-868-7034 |
| 반도체장비연구센터 |
송영훈 |
- 대기압 플라즈마를 이용한 유해가스처리 기술, 여기서 유해가스란 저농도의 휘발성유기화합물, 악취, 질소산화물 등을 일컫고 있음.
- 대기압 플라즈마를 이용한 PFCS 및 HFCS와 같은 지구온난화가스의 처리
- 화석연료로부터 수소를 얻는 기술 및 이를 활용한 연소기술
- 디젤차 배기정화기술 |
042-868-7302 |
| 반도체장비연구센터 |
송준엽 |
- 반도체 패키징 공정/장비 기술
- 생산시스템 지능화, 통합/제어 기술 |
042-868-7144 |
| 반도체장비연구센터 |
이대훈 |
- 플라즈마 발생기술
- 플라즈마를 이용한 연료 처리 및 연료 개질기술
- 플라즈마 및 플라즈마 연소, 플라즈마 촉매 복합 공정을 통한 오염물질의 제거 및 처리
- 플라즈마 촉매 화학 공정 기술 |
042-868-7406 |
| 반도체장비연구센터 |
이재학 |
- 반도체, 디스플레이, 유연소자 등의 패키징 공정 및 장비 기술 |
042-868-7362 |
| 반도체장비연구센터 |
조성권 |
- 플라즈마 발생 장치 개발
- 플라즈마 화학 반응 연구 및 응용
- 플라즈마 후처리 기술 개발
- 플라즈마 응용 연료 개질 및 변환 기술 개발
- 플라즈마 응용 기술 개발 |
042-868-7485 |
| 반도체장비연구센터 |
한성흠 |
- 정밀 길이/3차원 좌표 측정 기술 개발
- 마이크로 LED 전사 공정 및 장비 개발
- 반도체/디스플레이 레이저 공정 및 장비 개발
- 펨토초 레이저 응용 기술 개발
- 광학 시스템 개발 |
042-868-7429 |
| 반도체장비연구센터 |
허민 |
- 플라즈마 반응기 설계/해석/진단
- 반도체/디스플레이 플라즈마 응용
- 환경/에너지 플라즈마 응용 |
042-868-7634 |
| 반도체장비연구센터 |
강홍재 |
- 플라즈마 반응 시스템 개발 |
042-868-7174 |
| 반도체장비연구센터 |
김대웅 |
- 반도체 제조공정용 플라즈마 소재-부품-장비-공정 개발 및 평가
- 반도체 플라즈마 소스 기술 개발 (RF ICP, CCP 등)
- 반도체 플라즈마 진단기술 및 공정진단 응용기술 개발 (광, 전기, 마이크로웨이브 등) |
042-868-7922 |
| 반도체장비연구센터 |
김무영 |
- 계산과학 기반 반도체 가상공정 플랫폼 구축
- 2차원 반도체 소재 플라즈마 식각/증착
- 제일원리-분자동역학-키네틱몬테카를로-연속체 멀티스케일 시뮬레이션 |
042-868-7399 |
| 반도체장비연구센터 |
김유나 |
|
042-868-7198 |
| 반도체장비연구센터 |
김태호 |
|
042-868-7348 |
| 반도체장비연구센터 |
김형우 |
- 차세대 반도체 플라즈마 합성/식각/공정 머신러닝 |
042-868-7272 |
