| 반도체장비연구센터 |
강우석
연구자정보공개 보기
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- 반도체장비연구센터장 |
042-868-7435 |
| 반도체장비연구센터 |
강홍재
연구자정보공개 보기
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- 아크 플라즈마 방전
- 고엔탈피 플라즈마 유동 |
042-868-7174 |
| 반도체장비연구센터 |
김대웅
연구자정보공개 보기
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- 반도체 플라즈마 공정 소재-부품-장비 개발 및 평가
- 반도체 플라즈마 소스 및 진단 기술 개발
- 반도체 플라즈마 식각 및 증착 지능화 공정 및 장비 개발 |
042-868-7922 |
| 반도체장비연구센터 |
김승만
연구자정보공개 보기
|
- 광기반 정밀 측정
- 광기반 반도체/유연소자 패키징 공정 |
042-868-7034 |
| 반도체장비연구센터 |
송준엽
연구자정보공개 보기
|
- 반도체 패키징 공정/장비 기술
- 생산시스템 지능화, 통합/제어 기술 |
042-868-7144 |
| 반도체장비연구센터 |
이재학
연구자정보공개 보기
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- 반도체, 디스플레이, 유연소자 등의 패키징 공정 및 장비 기술 |
042-868-7362 |
| 반도체장비연구센터 |
조성권
연구자정보공개 보기
|
- 플라즈마 발생 장치 개발
- 플라즈마 화학 반응 연구 및 응용
- 플라즈마 후처리 기술 개발
- 플라즈마 응용 연료 개질 및 변환 기술 개발
- 플라즈마 응용 기술 개발 |
042-868-7485 |
| 반도체장비연구센터 |
한성흠
연구자정보공개 보기
|
- 정밀 광 측정
- 레이저 공정/장비
- 첨단 반도체 패키징 공정/장비 |
042-868-7429 |
| 반도체장비연구센터 |
허민
연구자정보공개 보기
|
- 플라즈마 반응기 설계/해석/진단
- 반도체/디스플레이 플라즈마 응용
- 환경/에너지 플라즈마 응용 |
042-868-7634 |
| 반도체장비연구센터 |
김무영
연구자정보공개 보기
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- 계산과학 기반 반도체 가상공정 플랫폼
- 플라즈마-재료표면 상호작용 멀티스케일 시뮬레이션
- 물리기반 인공지능 모델설계 |
042-868-7399 |
| 반도체장비연구센터 |
김유나
연구자정보공개 보기
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- * 플라즈마 촉매 융합 공정
- * 플라즈마 활용 화학 공정 및 소재 개발 |
042-868-7198 |
| 반도체장비연구센터 |
김주호
연구자정보공개 보기
|
- * 플렉서블/스트레처블 디바이스 공정 및 구조 기술 개발
- * 미니/마이크로 LED 디스플레이 패키징 공정 및 장비 기술
- * 반도체 패키징 공정 및 장비 기술 |
042-868-7212 |
| 반도체장비연구센터 |
김태호
연구자정보공개 보기
|
- * 증착/식각 장비 개발
- * 소재/부품 연구를 통한 반도체 제조 생산성 향상 기술
- * 반도체 공정 파티클 저감 기술 |
042-868-7348 |
| 반도체장비연구센터 |
김형우
연구자정보공개 보기
|
- 차세대 2D반도체 플라즈마 합성 및 플라즈마 식각 공정
- 플라즈마 식각, 합성 AI지능화 공정 |
042-868-7272 |
| 반도체장비연구센터 |
문현규
연구자정보공개 보기
|
- 반도체 패키징 공정 및 장비 기술 개발
- 방열 설계
- CMP |
042-868-7133 |
