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기술예고

기술명 가열 및 냉각 기능을 갖는 하이브리드롤 설계 및 제작 기술

연구책임자, 기술설명, 고객/시장, 기존 기술의 한계 또는 문제점, 기술이 가져다 주는 명백한 혜택, 기술의 차별성, 기술의 우수성, 희망파트너쉽
연구책임자 손영수
고객/시장 ㅇ 차세대 반도체, 디스플레이 소자, 바이오 소자, 광통신 부품 및 고에너지 부품의 고기능화 실현의 원천기술로 사용 가능.
ㅇ 기존의 극초미세 형상가공에는 반도체 제조공정이 주로 사용되고 있으며, 여기에 사용되는 비용이 전체 비용의 35% 정도를 차지하고 있음. 따라서, 본 연구에서 개발된 히팅롤을 사용한 핫엠보싱 공정이 반도체 공정을 대신할 수 있으며, 식각공정의 간소화에 따라 고집적 부품의 생산원가 절감에 큰 효과가 기대됨.
ㅇ 유연성이 있는 기판의 처리가 가능하여 차세대 산업인 플렉서블 디스플레이와 같은 IT 산업의 원천기술로서 활용될 수 있음.
ㅇ 개발된 대면적 고온 엠보싱 장비기술은 WDM 소자, 광커플러, 광스위치, 광증폭기 등 광통신망을 구성하는 광소자를 저가격으로 생산할 수 있는 기반기술로 소형 광도파로 제작에 머무르고 있는 마스크 노광 공정을 대체, 수백mm 급 평면 도파로 제작을 가능하게 할 것임.
ㅇ 뿐만아니라 광분화기(Beam Splitter), 렌즈, 홀로그램과 같은 광부품류, 비반사 기판, 광학 필터의 제조에 활용이 가능함.
ㅇ 대면적 핫엠보싱 장비는 광소자뿐 아니라 양산과 관련된 여러 가지 기술적 난제를 갖고 있는 차세대 바이오 소자나 MEMS 부품을 생산하는데 활용가능한 장비로 극초미세 형상부품을 활용하는 다양한 응용분야를 창출할 것으로 기대됨.
ㅇ solar cell 제조공정에 사용될 경우, 절연체층이나 활성층의 폴리머 엠보싱 공정에 널리 사용될 수 있음.
기존 기술의 한계 또는 문제점
기술이 가져다 주는 명백한 혜택 ㅇ 가열 및 냉각을 동시에 하나의 롤로써 제어 가능하므로 보다 능동적인 공정 설계가 가능함
기술의 차별성 ㅇ 하이브리드 롤이 적용된 핫엠보싱 히팅롤 공정은 전혀 시도된 바 없는 기술임
기술의 우수성 ㅇ 대면적 미세패턴 제작을 위한 롤 폭 600mm급 하이브리드롤 기존 히팅롤에 비해 획기적으로 냉각 시간 단축
ㅇ 롤 표면 온도 균일도 확보 (온도편차: ±2℃/400㎜, 최대온도: 250℃)
지식재산권 현황
희망파트너쉽 프로토타입 개발

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