질의응답
제목 AFM을 이용한 전기도금 리쏘그라피 방법에 대한 질문
| 상태 | 대기 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2011-12-12 |
| 조회 | 2971 |
| 내용 |
안녕하십니까??? 현재 울산과학기술대학교에서 AFM을 이용, 전기도금 방식으로 리쏘그라피 연구를 진행하고 있는 대학원 학생입니다. 작년에 네덜란드에서 진행한 마이크로 타스 학회에서 기계연구원에서 오신 분과 대화를 나누던 과정에서 기계연구원에서도 전기도금 방식을 이용하여 AFM으로 리쏘그라피를 하는 연구를 진행을 하였으나 실험제약 요건이 너무 많아 더 이상 진행을 하지 않았다는 말을 듣게 되었습니다. 현재 홈페이지에는 이와 관련된 연구를 진행하였던 부서나 연구원님들의 인적사항이 나와 있지 않아 질문 응답란에 다음과 같은 질문을 올리게 되었습니다. 현재 금이 코팅이 된 AFM에 Si- oxide를 이용하여 인슐레이션을 하고 FIB가공을 하여 전극을 노출시켜 이를 이용하여 전기도금을 진행을 하고 있지만 AFM이 전기도금 과정에서 산화가 되어 실험을 진행하지 못하고 있습니다. 혹시 기계연구원에서도 다음과 같은 문제로 인해 연구를 진행하지 않은것인지 하여 문의를 드리게 되었습니다. |
| 첨부파일 |
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