질의응답
제목 UV-나노임프린트 관련하여 문의드립니다.
| 상태 | 답변 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2009-07-21 |
| 조회 | 2705 |
| 내용 |
저는 천안소재의 한국기술교육대학교 기계공학부 대학원생 이성진이라고 합니다. 현재 미세소성역학에 대해서 공부하고 있습니다. 다름이 아니라 이번에 UV-NIL 장비를 구매하여 앞으로 연구를 시작할 예정입니다. 저희 학교에서 처음하는 것이고 아직 자료가 전무하여 매일 논문검색과 웹서핑으로 공부를 하고있습니다. 특히나 수지관련하여 여러 논문은 접하게 돼었고 궁금한 점들이 있어 이렇게 연락드리게 돼었습니다. 몇가지 도와주십시오....^^ ** 몇일째 찾고 있는데 아직 상용화 된 시료를 못구했습니다. 일본 TOYO GOSEI Co.의 PAK01 에 대하여 홈페이지에 구매관련 문의한 상태입니다만. 답변이 없어 홈페이지 문의 외에 다른 방법이 있는지 찾고 있는중입니다. 이진우 연구원과 기계연구원이 개발하신 IMS01, IMS02 등은 상용화가 되어 있으신지요? 아니시라면 어떻게 구해야 돼는지 알고 싶고...PAK-01 에 대해서도 어떻게 구할지 알소 싶습니다. ** 그리고 정준호 이응숙 박사님 논문에서 나오는.. EPS에 단분자막을 형성하기 위한 시료로 사용된 Trichloro(1H, 1H, 2H, 2H-perfluorootyl) Silane(97%, Aldrich) 라는 것과 임프린트 전에 웨이퍼 평탄화층을 형성하기 위한 소재로 사용된 DUV30J (Brewer Science) 라고 하는 ARC용 수지들은 어떻게 구해야 하는지도 알고 싶습니다. ** 그리고 마지막으로 이러한 모든시료는 각각의 디스펜서를 이용하여 미소정량으로 사용해야 하나요? 광경화수지는 무사시사의 디스펜서를 이용한것 같은데 다른공정의 시료들도 디스펜서를 이용해야 하는지 궁금합니다. 처음 접하는것이고 현재로서는 웹서핑 및 자료검색으로 공부하고 있는 상황이라 많은 어려움들이 있네요... 잘 부탁드립니다...^^ |
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