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| 상태 | 답변 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2009-03-24 |
| 조회 | 2397 |
| 내용 |
안녕하세요. 측정 방법이나 장비에 대해서 문의드리고자 글을 남깁니다. 마이크로 크기의 프리즘 패턴에서 프리즘 산 단면의 정점각도를 재려고 하는데 어떤 방법으로 할 수 있을지 궁금합니다. 제가 해본 방법은 FE-SEM으로 단면을 직접 촬영하는 방법과 FTS로 표면 단차를 측정하여 각도를 계산하는 방법을 해봤습니다. 위의 방법으로도 측정이 가능하나 그 외의 객관적인 방법이 있는지 궁금합니다. |
| 첨부파일 |
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