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제목 정전척의 Chucking force 측정

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상태 답변
작성자
작성일 2021-11-04
조회 1502
내용 안녕하세요.
2018년도에 다른분이 질문하신것으로 확인되는데,
정전척의 Chucking force 측정이 가능할까요?
고온(0~500도) / 진공의 측정환경을 목표로 합니다.
감사합니다.
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