질의응답
제목 MEMS 희생막제거 실험을 위한 도움을 요청합니다.
| 상태 | 대기 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2008-06-03 |
| 조회 | 2049 |
| 내용 | 저는 부경대 학생으로 초임게이산화탄소 에칭실험을 진행하고 있습니다. 구체적으로는 습식에칭에서 문제가 되는 표면장력 점착 등에 의한 구조물 붕괴를 방지하기 위한 희생막제거에 관한 연구라 할 수 있겠습니다. 이 연구는 이미 MEMS 희생막 제거 분야에도 응용가능한 것으로 알고 있으며 습식에칭과 그 이후의 건조과정에서 발생될 수 있는 잔사 및 구조물 점착, 붕괴 현상을 방지하고 처리과정 역시 간소화 시킬 수 있을 것으로 예상됩니다. 이번에 MEMS 구조물 릴리즈를 위한 실험을 계획하고 진행하기 캔틸레버 빔 구조의 MEMS 패턴 웨이퍼를 제작할려고 시도하던 중 한국기계연구원에서 이와 비슷한 일을 한다고 들었습니다. 저희가 화학이 기반이라서 MEMS 의 기계적 특성 및 패턴 구조 제작에 있어 어려움이 많습니다. 그래서 협조를 구하기 위해 이렇게 글을 올립니다. 혹시 이와 관련된 담당부서 관계자 혹은 게시판 관리자께서 이글을 보신다면 이메일로 연락 주셨으면 합니다. |
| 첨부파일 |
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