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제목 공정 부산물 제거를 위한 플라즈마 반응장치 관련 문의

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상태 답변
작성자
작성일 2022-10-25
조회 448
내용 안녕하세요,
증착 공정 부산물 처리에 대해서 공부하고 있는 학생입니다.
다름이 아니라 '공정 부산물 제거를 위한 플라즈마 반응장치 및 이를 구비한 반도체 공정 설비(출원번호10-2019-0100592)' 특허에 대해 궁금한 점이 몇 가지 있어 문의 드립니다.

1. 이 기술을 사용해서 처리 가능한 구체적인 부산물의 예시가 궁금합니다.
특히 배관 내 축적 가능성이 있는 물질 관련하여 실리카나 염화암모늄 등 모든 부산물의 처리가 가능한 건가요?

2. 특허에서 '본 발명에 따른 플라즈마 반응장치는 종래의 트랩 장치 대비 사용 수명이 길다' 라고 언급되어있는데, 혹시 수명이 정확히 어느정도인지 알 수 있을까요?

감사합니다.
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