질의응답
제목 아크이온플레이팅의 대기오염물질 배출 관련
| 상태 | 답변 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2019-06-11 |
| 조회 | 2495 |
| 내용 |
안녕하십니까, 건식표면처리 중 PVD(아크이온플레이팅)에 대해 문의 사항이 있어 글 남깁니다. 학술자료나 특허를 보면 아크이온플레이팅은 친환경, 무공해라고 기술하고 있습니다. 그렇다면, 아크이온플레이팅 설비에 티타늄과 크롬타겟을 이용하여 진공상태에서 코팅막을 형성할 때 크롬, 질소 등의 배출이 있나요? 또한 진공펌프로 배기 시 크롬이온, 질소 등의 배출이 있나요? 배출가스에 대한 연구자료나 측정데이터와 기계의 기본원리에 대한 자료를 요청드립니다. 감사합니다. |
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