질의응답
제목 정전척의 chucking force 측정 문의드립니다.
| 상태 | 답변 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2018-06-18 |
| 조회 | 5444 |
| 내용 |
안녕하세요. 반도체나 디스플레이 장비에 사용하는 정전척의 chucking force를 측정할 수 있는지 문의드립니다. 측정 가능시 정전척의 규격은 어떻게 되는지와 정전척의 온도를 상온 ~ 200도 범위로 하여 측정 가능한지 문의드립니다. 감사합니다. 정창오 드림. |
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