안녕하세요.

 

건식표면처리 중 PVD(아크이온플레이팅)에 대해 문의 드립니다.

많은 학술자료나 특허를 보면 아크이온플레이팅은 친환경, 무공해라고 기술하고 있습니다.

 

아크이온플레이팅 설비에 크롬타겟을 이용하여 진공상태에서 CrN코팅막을 형성할 때 크롬, 질소 등의 배출이 없는지요? 또한 챔버의 진공을 유지하기 위해 진공펌프로 배기 시 크롬이온, 질소 등의 배출은 없는지요?

이에 대한 연구자료나 측정데이터를 요청드립니다.

 

감사합니다.