보유기술명 투과형 광센서 기반 플라즈마 공정 모니터링 기술 기술요약, 고객/시장, 지식재산권현황, 연구자, 첨부파일 연구자 이진영, 김현돈, 임미경 첨부파일 다운로드 13_투과형_광센서_기반_플라즈마_공정_모니터링_기술.pdf (1.1 MB)
