보유기술명 nm급 초고진공용 초정밀 스테이지 기술 기술요약, 고객/시장, 지식재산권현황, 연구자, 첨부파일 연구자 강동우, 김현창, 김경록, 김재영 첨부파일 다운로드 14_nm급_초고진공용_초정밀_스테이지_기술.pdf (471.5 KB)
