보유기술명 극초단파 레이저 충격파를 이용한 반도체/디스플레이 기판의 오염 제거 기술 기술요약, 고객/시장, 지식재산권현황, 연구자, 첨부파일 연구자 김경한 첨부파일 다운로드 (1)첨단생산장비연구부-24.pdf (335.5 KB)
